SHA、FHA、RSF系列執(zhí)行器是日本Harmonic公司的一款諧波減速機(jī)和伺服電機(jī)一體化的產(chǎn)品。HMA是大中空直驅(qū)力矩電機(jī)產(chǎn)品。
SHA系列執(zhí)行器有6種尺寸可選，最大輸出轉(zhuǎn)矩為3419Nm,減速比范圍11~161，單向定位精度≤30arcsec（1:80以上速比）。
FHA-C系列執(zhí)行器4種尺寸可選，最大輸出轉(zhuǎn)矩達(dá)820Nm，減速比范圍50~100，單向定位精度≤30arcsec。
RSF系列執(zhí)行器4種尺寸可選，最大輸出轉(zhuǎn)矩達(dá)330Nm，減速比范圍50~100，單向定位精度≤90arcsec。
HMA系列直驅(qū)電機(jī)5種尺寸可選，最大輸出轉(zhuǎn)矩33Nm，最高轉(zhuǎn)速6000rpm，中空直徑最大60mm，標(biāo)配絕對值編碼器單圈17位多圈計數(shù)16位。
北方某客戶在CMP設(shè)備使用了SHA、RSF、HMA和FHA系列產(chǎn)品：
1、 轉(zhuǎn)臺：負(fù)載220kg，直徑1600mm，交流伺服電機(jī)+行星減速機(jī)無法滿足安裝空間和精度要求，選用了SHA65A產(chǎn)品，減速比為1:161，輸出轉(zhuǎn)矩為3419Nm，滿足了晶片轉(zhuǎn)臺大慣量匹配及快速定位需求，中空結(jié)構(gòu)可放置氣管和線纜，扁平機(jī)身降低安裝空間和設(shè)備重心；
2、 磨頭：選用了RSF-32A產(chǎn)品，集成高分辨率編碼器和1:50減速機(jī)，使輸出端轉(zhuǎn)速波動小，運(yùn)行平穩(wěn)，提高了研磨精度；
3、 清洗甩干：選用了HMAB12產(chǎn)品，最高輸出轉(zhuǎn)速4800rpm，中空法蘭輸出結(jié)構(gòu)便于晶片吸取，大扭矩高慣量使甩干速度運(yùn)行平穩(wěn)。
4、 FHA-40C產(chǎn)品應(yīng)用于清洗的提拉翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，減速比為1：100，輸出轉(zhuǎn)矩為690Nm，小體積高功率密度降低安裝空間需求。
驅(qū)動器選用了Copley公司的XEL-230-18，通過EtherCAT總線接入倍福控制器。
Harmonic執(zhí)行器產(chǎn)品的應(yīng)用，很好的滿足了客戶對于提高控制精度，高速定位，緊湊安裝空間的需求。