隨著信息技術(shù)的高速發(fā)展，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)日益成為全球最重要的產(chǎn)業(yè)之一。目前，半導(dǎo)體設(shè)備的國產(chǎn)化需求急劇上升，得益于半導(dǎo)體行業(yè)的蓬勃發(fā)展和國家政策的支持。在此大背景下，安川電機深入對半導(dǎo)體設(shè)備和工藝的研究，致力于為客戶提供優(yōu)質(zhì)的解決方案。

而清洗工藝貫穿于晶圓制造的整個過程，是保證良品率的關(guān)鍵之一。清洗工藝的好壞不僅影響表面的潔凈度，還會對芯片的電學(xué)性能、穩(wěn)定性等產(chǎn)生直接影響。
清洗工藝傳統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖：

解決方案：

 
1、空間優(yōu)化：
以往的結(jié)構(gòu)是伺服通過皮帶輪裝置連接中空軸，結(jié)構(gòu)相對復(fù)雜，占據(jù)空間。通過采用中空伺服電機，可簡化機械結(jié)構(gòu)以實現(xiàn)節(jié)省空間的目的。

2、粉塵減少
中空部的轉(zhuǎn)動軸采用不銹鋼，并選用低發(fā)塵規(guī)格的特殊潤滑脂，有效地減少了粉塵的發(fā)生。

3、高速高精度
搭載了24bit高分辨率編碼器，其中SGM7T-08A最大速度可達3000min-1。

中空電機的規(guī)格：

綜上，安川中空伺服電機通過結(jié)構(gòu)創(chuàng)新與性能優(yōu)化，為半導(dǎo)體制造提供了高效、潔凈、穩(wěn)定的驅(qū)動解決方案，助力行業(yè)突破精密制造瓶頸，加速國產(chǎn)化進程。