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雷尼紹光柵&激光干涉儀-VIONiC系列雷尼紹的超高精度、一體化數(shù)字增量式光柵,適用于線性和旋轉(zhuǎn)應(yīng)用。電子細(xì)分和數(shù)字信號處理功能組合封裝在讀數(shù)頭內(nèi),其電子細(xì)分誤差低至<±10nm,分辨率低至2.5nm。讀數(shù)頭系列具有兩種型號,分別為VIONiC和VIONiCplus,二者均可提供多種配置,可優(yōu)化運(yùn)動控制系統(tǒng)的速度和性能。