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雷尼紹光柵&激光干涉儀-RESM/REST圓光柵刻劃精度達(dá)到±0.38角秒,柵距20μm/40μm,圓光柵直徑52~550 mm,讀數(shù)頭兼容性VIONiC、TONiC、TONiC UHV、TONiC FS、QUANTiC;REXM20/REXT20圓光柵,安裝精度最高達(dá)±1角秒(雙讀數(shù)頭),柵距20μm,圓光柵直徑52~417mm,讀數(shù)頭兼容性VIONiC、TONiC、TONiC UHV。